金融界2025年5月5日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司请求一项名为“承载设备及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN119913610A，请求日期为2023年10月 。

　　专利摘要显现，本发明供给一种承载设备及半导体工艺腔室，承载设备包括基座、多个承载件和多个旋转结构；基座用于设置在半导体工艺腔室内，并能够相关于半导体工艺腔室旋转；承载件用于承载晶圆，且多个承载件别离绕本身的轴线可转动地设置于基座上；多个旋转结构和多个承载件一一对应且合作设置，并别离与基座合作设置，旋转结构用于在基座的旋转效果下相关于基座旋转，以带动对应的承载件相关于基座绕本身的轴线旋转。本发明供给的承载设备及半导体工艺腔室，可打气同一晶圆外表遭到的温度场和气流场的均匀性，然后可打气片内的外延层均匀性。

　　天眼查资料显现，北京北方华创微电子配备有限公司，成立于2001年，坐落北京市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。经过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子配备有限公司共对外出资了7家企业，参加招投标项目1028次，产业线条，此外企业还具有行政许可340个。

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